二手 INTELVAC Electron beam evaporation system #293809972 待售

INTELVAC电子束蒸发设备是一种高性能薄膜沉积工具，设计用于各种材料在基板上的精确均匀涂层。该系统利用电子束技术蒸发固体原料，并将其作为薄膜沉积在基板表面上。INTELVAC单元广泛应用于半导体、光学、电子等行业，用于薄膜沉积、蚀刻、灰化等应用。电子束蒸发机的心脏是电子束源，它产生一个高能电子束，聚焦在一个含有源材料的熔炉上。当电子束与源材料相互作用时，它会使其汽化，产生一个指向底物的蒸气通量。这种气相沉积过程允许精确控制被沉积薄膜的沉积速率、厚度和组成。INTELVAC工具的一个关键特点是其先进的控制资产，它允许对沉积速率、底物温度、真空压力等沉积过程参数进行精确控制。这使使用者能够以优异的薄膜品质和附着力达到高度均匀且可重现的薄膜涂层。该型号配备了高真空室，为薄膜沉积过程提供了清洁、无污染的环境。腔室被抽空到超高真空水平，以尽量减少可能影响沉积薄膜质量的杂质的存在。此外，腔室还配备了石英晶体微量天平、薄膜厚度监测器等现场监控工具，确保沉积控制准确，过程实时监控。INTELVAC电子束蒸发设备是一种用途广泛的工具，可容纳多种沉积材料，包括金属、氧化物、氮化物和其他薄膜应用常用的材料。该系统支持各种基板尺寸和形状，允许灵活处理不同类型的基板。对于蚀刻和灰化应用，该单元可以配备反应性气体入口系统和等离子体源等附加组件，以实现等离子体辅助过程。这允许从基板表面选择性去除材料或修改基板表面特性以实现特定功能。总体而言，电子束蒸发机是一种功能强大、可靠的薄膜沉积、蚀刻和灰化应用工具，适用于广泛的行业。其先进的特性、精确的控制能力和多功能性使其成为研究人员和行业专业人士的宝贵工具,他们希望以卓越的可重复性和可靠性实现高质量的薄膜涂层。