二手 INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION 3000 PN-1813 #293827895 待售

INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION 3000 PN-1813
ID: 293827895
晶圆大小: 4"
Plasma ashing system, 4" Pump / Blower models: D30A (8) Cryopump CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor Power supply.
INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION 3000 PN-1813是一款尖端蚀刻/asher设备,为半导体制造等高科技产业提供先进的等离子体处理能力。该系统旨在为各种材料提供精确、均匀的等离子体蚀刻和灰化,具有高通量和重复性。它采用了最先进的技术和特点,以满足现代制造工艺的苛刻要求。该装置利用反应性离子蚀刻(RIE)工艺,以高精度和控制的方式从基板表面去除材料。它还提供了从基板表面去除光致抗蚀剂和其他有机污染物的灰化能力。PN-1813设有多个气体喷射口、射频电源、温度控制系统,根据具体应用要求量身定制等离子工艺参数。3000 PN-1813的主要特点之一是先进的真空机,确保了清洁稳定的加工环境。该工具配备了涡轮分子泵、低温泵以及各种压力表,以达到并保持最佳等离子体处理性能所需的真空水平。真空资产还包括一个负载锁定室,用于有效的底物装卸,而不会损害工艺室的真空条件。PN-1813模型由用户友好界面控制,该界面允许操作员设置和监视流程参数、配方配置文件和实时数据反馈。该设备的软件能够精确控制气体流量、射频功率水平、工艺时间和其他关键参数,从而一致地实现所需的蚀刻和灰化结果。该软件还包括诊断工具,用于故障排除和预防性维护,以最大程度地减少停机时间并最大限度地提高工作效率。在等离子体产生方面,INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION 3000 PN-1813利用高频射频电源在工艺室内创造和维持等离子体。等离子体是通过对注入室内的气体溷合物施加射频功率而产生的,从而形成与底物表面相互作用的反应性物质,有效地蚀刻或粉刷材料。该系统的电源设计用于在整个处理周期中提供稳定可靠的射频功率,以实现一致的等离子体性能。该PN-1813采用高质量的材料和组件来构建,以确保生产环境中的长期可靠性和耐用性。该设备采用符合人体工程学的设计,易于维护访问和可维护性,允许在需要时进行快速高效的故障排除和组件更换。INTERNATIONAL PLASMA CORPORATION还提供全面的培训计划和技术支持服务,以帮助客户最大限度地提高PN-1813机器的性能和正常运行时间。总之,3000 PN-1813 蚀刻器/asher工具代表了在半导体制造等先进工业中高精度等离子体加工应用的前沿解决方桉。凭借其先进的技术、精确的控制能力和坚固的设计,PN-1813准备为各种材料和基材提供卓越的蚀刻和灰化性能,使其成为希望获得高质量和可靠等离子处理结果的公司的理想选择。
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