二手 IPEC PWS-200 #9016268 待售

IPEC PWS-200是一个蚀刻器/asher设计为卓越的性能和可重复性，同时保持简单和安全的使用。该模型PWS-200由IPEC制造，由耐用不锈钢制成，标配整体提升机构，便于基板装卸。IPEC PWS-200具有高速性能,典型的蚀刻/灰分速率高达每分钟350微米,可在湿法或干法模式下进行湿法蚀刻或PECVD沉积。PWS-200腔室包括两个气体输入装置和两个涡轮分子泵，可以使用各种各样的工艺参数。该设备设计用于处理直径可达200毫米的多种基材尺寸，可与多种基材搭配使用，包括金属、陶瓷和聚合物。IPEC PWS-200是一个完全自动化的流程模块,允许用户为给定的流程周期编程多达50个参数。系统附带一台集成计算机，其中包含菜单驱动的程序接口。这允许从简单图形用户界面（GUI）控制所有进程参数。PWS-200还配备了一个多功能分析单元，其中包括一个数字信号处理器（DSP）和三个过程控制选项。这些选项包括手动调气、辅助调气和自动调气模式。IPEC PWS-200具有广泛的自动安全功能,确保安全可靠的运行。它包括一个紧急停止开关和带有特殊按键的键盘，以防止未经授权的访问。为了额外的安全，该机配备了电压监测机，可以感知操作过程中发生的任何危险波动。PWS-200是一个可靠和高效的蚀刻器/asher,提供卓越的可重复性和精确度。凭借其易于使用的设计和安全特性，它是广泛的科学和工业应用的理想工具。