二手 JESAGI JSPCS-600G #293635086 待售

JESAGI JSPCS-600G蚀刻设备是需要高精度蚀刻和高分辨率光刻剥离的应用的理想解决方桉。该系统配备了高性能、直流电（DC）溅射源。适合蚀刻多种材料，包括铝、铜、玻璃、不锈钢等。该单元还提供了出色的光阻剥离能力。JSPCS-600G采用4室设计，每一室都有独立的工艺室和压板。该工艺室可容纳直径不超过8英寸的各种晶片和基材。它设计有一个用于蚀刻的离子源，一个用于蚀刻的灯丝，以及一个用于光致抗蚀剂剥离的射频等离子体发生器。6-NC塔可精确控制蚀刻速率、选择性和蚀刻深度,从而对蚀刻结果进行微调。此外，该机还具有高效、真空覆盖、高通量的晶片载体和真空晶片夹紧机构，可容纳多达20个晶片。该工具包括自己的工艺控制软件，它被编程为优化蚀刻和光刻剥离时间和结果。软件有几个预定义的控制参数,以及自定义蚀刻过程的能力。该资产利用用户友好的图形用户界面（GUI）轻松访问和修改控制参数。JESAGI JSPCS-600G具有高级传感器包,可实时监视过程参数。这样可以确保最大程度的蚀刻和光刻剥离性能,并具有一致的最终结果。该模型还支持过程自动化，具有完全可编程和可定制的参数。JSPCS-600G附带全面的现场用户培训和维护包,以及备件可用性。综上所述，JESAGI JSPCS-600G是各种复杂程度的蚀刻和光刻剥离应用的理想解决方桉。其先进的4室设计、高精度直流溅射源、高效的晶圆载波，使其成为可靠易用的设备。其直观的过程控制软件，带有可定制的蚀刻和剥离过程，为用户提供了对蚀刻和光刻剥离过程的完全控制。该系统的高级传感器包确保了一致的最终结果和最低的维护要求。