二手 JESAGI JSPCS-750 #9253518 待售

JESAGI JSPCS-750是一种最先进的蚀刻器/asher,具有先进的多光束技术和精确的工艺控制。该系统被封装在真空室中，具有FOUP装载机隔离功能，可提供出色的重复性和精确的薄膜效果。JSPCS-750是先进的纳米加工工艺的理想选择，可实现低批量生产，循环时间为每晶圆20秒。JESAGI JSPCS-750能够在整个晶片中产生无颗粒、低粗糙度和均匀性的最高质量的蚀刻和灰化结果。它具有多波束同时运行的特点，是一个过程中多种应用的理想选择。多梁技术还提供了低成本的操作和最小的维护。为支持可靠性和长期性能,JSPCS-750配备了大量的传感器和自动反馈算法,以控制均匀性和蚀刻质量。JESAGI JSPCS-750配备了一系列高级蚀刻和灰化功能。其先进的惰性蚀刻技术支持多种气体，使其能够在低密度损伤下达到高蚀刻速率。反应室也能够达到290°C至800°C之间的温度，创造出广泛的薄膜厚度范围。腔室还设有一个集成的基板冷却器，用于快速冷却后的过程。此外,JSPCS-750还具有一个清洁周期,以提高流程的可重复性。这种清洁循环非常适合半导体应用。其低O2气体消耗降低了集成运营成本。集成了FOUP加载的自动化提供了快速高效的吞吐量。该系统还包括一个直观的触摸屏界面和一个大的图形显示。JESAGI JPSCS-750是一种高端蚀刻器/asher,可在广泛的过程中提供卓越的结果。其先进的多束技术、精密工艺控制、集成自动化和直观的用户界面，使其成为先进纳米加工应用的理想选择。