二手 JESAGI JSPES-W21 #293761868 待售

JESAGI JSPES-W21是一种蚀刻和灰化设备，旨在为电路和半导体提供高"Äìaccuracy"处理。该系统配有微波等离子体源，设计用于低温蚀刻，热化学蚀刻用于更高温度的灰化。该单元配备两个独立的、高分辨率的工艺室，真空容量约200-400 mTorr，提供最佳精度和控制。此外，蚀刻器的最大加工室尺寸为800毫米x 800毫米，允许用户处理更大的基板。该单元采用平面感应线圈和微波能源的独特组合，在蚀刻过程中优化晶圆均匀性。长宽比能力范围从0.5：1到4：1，允许制造致密和浅层结构，以及1微米以下的微观结构特征尺寸。JSPES-W21还配备了具有用户友好软件界面的自动控制功能。它允许可编程的设定点和配方管理,并能够保存和召回蚀刻和灰分配方,以及实时监控流程。此外,集成的可编程逻辑控制器（PLC）提供了简化的硬件操作和服务,并配备了诊断和维护机器,以减少总体手动工作量。JESAGI JSPES-W21还具有垂直负载锁定机器人组件,以最大程度地减少刀具占用并最大限度地提高生产吞吐量。锁载机器人可以处理标准和定制的基板，最大尺寸200 x 200 mm，并且总共有10个顶端和底端装载机，一次最多可锁定20个晶圆到加工室。创新的Load-Lock资产配置为通过模块化设计轻松维护和升级。总之，JSPES-W21是一个可靠的模块化模型，通过可编程自动化提供精确的蚀刻和灰化功能。该设备适用于中小型生产，为精密工艺提供可靠性和快速周转时间。它具有自动化控制和低温能力，能够制造出复杂多样的结构。