二手 JESAGI JSPES-W21 #9144083 待售

JESAGI JSPES-W21蚀刻器是一种高质量的真空蚀刻系统，设计用于自上而下的晶圆加工。在JSPES-W21平台上,可以使用各种高级功能来优化设计并实现快速的过程开发。使用JESAGI JSPES-W21,可以存储120多种不同的工艺配方,并且配方易于调节,可针对单个基板类型和设计进行扩展。它利用内置的专有封装技术，将晶片保持在与基板精确的距离，确保在整个表面均匀蚀刻。它具有保护性不锈钢引擎盖、双密封真空室，以及用户友好的界面，允许用户定制配方和选择不同的蚀刻方法。所有操作和功能都可以通过LCD触摸屏控制，还提供USB端口，方便外部设备的更新和安装。JSPES-W21蚀刻器提供了一个可编程的自动化平台,其功能包括工艺优化、底物寿命预测,以及使用更高分辨率和更深入的物料去除配方进行试验。它还配备了允许用户监控和分析蚀刻过程的车载诊断，以及保持高精度和高吞吐量的PID控制系统。整个平台设有防尘层，如硅胶过滤器，以阻止空气中颗粒在蚀刻过程中扩散。JESAGI JSPES-W21还提供了额外的安全性,因为如果发生意外事件,它会自动关闭。综上所述，JSPES-W21蚀刻器是一种先进的高质量真空蚀刻系统，为自上而下的晶圆处理应用提供精确的控制和强大的自动化。它具有内置的防护性不锈钢引擎盖、双密封真空室、用户友好型触摸屏和车载诊断功能,提供用户友好型操作、可靠的安全性和精确的控制。它还能够优化工艺，预测底物寿命，并试验更高分辨率和更深层次的材料去除配方。