二手 KASHIYAMA MU600X-005 #293642216 待售

KASHIYAMA MU600X-005是一种用于微电子制造的蚀刻/asher设备。它为各种材料中的蚀刻/灰化提供了高精度、精确度和灵活性。它是一个完全模块化的系统,允许自定义配置以匹配任务特定的要求。该单元包括四个基本组件：一个蚀刻/灰化室、一个蚀刻/灰化枪、一个废物处理转移口和一个控制器。蚀刻/灰化室设计用于产生超清洁的高温环境。它具有创新、集成的线性"极性"机器，可以优化工艺效率和精度。该室还提供各种温度/压力设置以及全自动监控功能。由此产生的高质量蚀刻/灰烬始终准确且可重复。蚀刻/灰化枪设计为与腔室配合工作，以确保高度精确和可重复的蚀刻/灰烬。它是可调的，以适应各种基板尺寸，和枪提供了广泛的喷嘴角度和压力。该枪还包括一个可编程的驱动工具，以便于调整工艺参数。废物处置转移口是从蚀刻/灰化室转移废物的一个独特特点。它确保有效和安全的废物管理，因为其复杂的多阶段过滤资产捕获颗粒，防止任何蚀刻/灰化残留物在蚀刻/灰化过程中重新循环。最后，控制器提供对蚀刻/ashing过程的完全控制，允许用户快速轻松地调整设置以获得所需的蚀刻/灰烬。它采用全彩色数字触摸屏,使用户能够轻松监控和配置蚀刻/灰度参数。MU600X-005是微电子生产中各种蚀刻/灰化任务的理想解决方桉。其精密的腔室设计和精密的蚀刻/冲刷枪让用户每次都能获得超精密、可重复的结果。此外，它的模块化设计、集成过滤以及先进的控制器使其高效易用。