二手 KC TECH KCT-W300S #293757182 待售
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ID: 293757182
晶圆大小: 12"
优质的: 2009
PR Stripper, 12"
Process flow: SPM / BOE / SC1
2009 vintage.
KC TECH KCT-W300S是为半导体、MEMS、LED等微电子行业内的精密优质基板加工而设计的一种精密创新的蚀刻器/asher设备。这款先进的设备结合了等离子体蚀刻和灰化功能,为广泛的应用提供了一个通用、高效的解决方桉,包括晶圆清洗、降序、抗剥离和图样传输。KCT-W300S采用紧凑、符合人体工程学的设计,配备了最先进的技术和先进的功能,可提供精确可靠的处理结果。该系统包括高性能射频等离子体发生器、自动压力控制单元、温度控制模块以及方便操作和监控的人性化界面。KC TECH KCT-W300S的关键亮点之一是它的双模操作,允许用户在蚀刻和灰化过程之间无缝切换。这种灵活性使机器能够处理各种类型的基材和材料,包括硅、二氧化硅、金属、聚合物等等。蚀刻过程涉及使用化学反应性等离子体从基板表面去除材料,而灰化过程则用于剥离有机材料和污染物。KCT-W300S工具提供一系列工艺参数调整,如气体流速、压力水平、功率设置和工艺时间,以根据特定的应用要求调整加工条件。这些参数的精确控制确保了在多个基板上的均匀和可重现的结果,从而提高了工艺效率和产量。此外,KC TECH KCT-W300S还配备了先进的安全功能,在操作过程中保护操作员和设备。这些包括泄漏检测传感器、超压保护机制、联锁系统和紧急关闭功能,以防止事故和确保安全的工作环境。在性能方面,KCT-W300S凭借先进的等离子体技术和优化的腔室设计,提供了较高的通量和过程均匀性。该资产能够实现高蚀刻和灰化率,从而加快处理时间,提高半导体制造和研究应用的生产率。此外,KC TECH KCT-W300S设计方便维护和维修,具有可访问的组件和模块化设计,可快速无忧地更换消耗性部件。这有助于最大限度地减少停机时间,并确保模型始终保持运行状态,从而提高总体设备效率和成本节约。总体而言,KCT-W300S 蚀刻器/asher设备是一种用于要求苛刻的微电子处理应用程序的前沿解决方桉,在紧凑且用户友好的封装中提供卓越的性能、灵活性和效率。凭借其先进的特性和功能,此设备非常适合精确度、可靠性和高工艺质量至关重要的研究和生产环境。
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