二手 KEM / KOKUSAI Lambda 200 #9075057 待售

KEM/KOKUSAI Lambda 200 蚀刻器/asher是一种精密蚀刻和灰化设备,设计用于多种领域,特别是集成电路制造和微细制造。该系统利用氧气反应性蚀刻和灰分金属，陶瓷，和硅材料。KEM Lambda 200设计具有一系列蚀刻和灰化功能,并具有多种设计选项。基本单元包括蚀刻室和匹配的灰化室。这些腔室通过载荷锁连接，使得基板从一个腔室转移到另一个腔室是有效和可追踪的。蚀刻室包含一个直流电源,具有1至25 mA的外部可控脉冲功能。这允许用户通过高速率调整反应性来精确控制蚀刻并提供改进的选择性。高速率降低了结构拐角处线变窄的影响。此外,电源还提供可调参数范围高达4V的直流偏置。这种偏差有助于实现不同的蚀刻过程。蚀刻室有四级涡轮分子真空机，并以直驱电动机为后盾，高通量。此外，该腔室有一个用于基板平移的线性运动阶段和一个用于现场观察蚀刻过程的光学端口。灰化室与氧气灰化工具耦合。该资产有三个独立的气阀，允许独立调整和组合以获得最佳结果。另外还可以使用氮气、氢气、氙气和CO2等多种气体来控制蚀刻或灰化过程。该模型采用易于使用的自动测序设计，整个过程可以通过连接的计算机进行设置。这使得设备非常高效。还可以记录和存储有关该过程的所有数据以进行历史分析。KOKUSAI Lambda 200是一种可靠可靠的蚀刻和灰化系统,可提供可重复和可靠的结果,可用于多种应用。除其他功能外,这使其成为各种蚀刻和灰化任务的绝佳选择。