二手 KEM / KOKUSAI Lambda 200C #293643016 待售

KEM / KOKUSAI Lambda 200C
ID: 293643016
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Asher, 8" 2001 vintage.
KEM/KOKUSAI Lambda 200C是一种用于微电路制造和半导体研发的等离子体蚀刻器/asher。这款先进的蚀刻器/asher配备了高真空室,容量可达200瓦。半径为24英寸的机器能够快速蚀刻或粉刷中小型部件。KEM Lambda 200C配备了两个独立的200瓦等离子体发电机电源,使其具有持续稳定运行的高度可靠性。此外,它具有紧凑的设计,较低的噪音输出和无振动操作,因此它可以被放置在一个烟雾罩或实验室。它的腔室由前室和主蚀刻腔室组成,并有一个安全的单点专用涡轮分子泵。KOKUSAI Lambda 200C的蚀刻和ashing特性也优于其他蚀刻器/ashers。蚀刻功能利用低温等离子体,可以通过电介质、金属和各种材料蚀刻而不会产生明显热量。机器的灰化过程使用活化的氧基去除了光致抗蚀剂,使层基板不受影响。在控制方面,Lambda 200 C具有直观的触摸屏图形用户界面和内存容量,用户友好。蚀刻器/asher最多可以存储99种工艺配方,这些配方可以编辑、复制和保存。此外,这种模式既有手动操作模式,也有编程操作模式,使操作更加容易和高效。总体而言,KEM/KOKUSAI Lambda 200C是一款高级蚀刻器/Asher,旨在为各种材料提供精确、一致的蚀刻和灰化结果。凭借直观的用户界面、高真空室和扩展的等离子体发电机电源,是研发、量产的理想选择。
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