二手 KEM / KOKUSAI Lambda 200C #293643017 待售

KEM/KOKUSAI Lambda 200C是一款蚀刻器/asher,非常适合广泛的应用,包括半导体和平板材料。这台机器使用高压和电流来蚀刻或粉刷从硅到玻璃的各种材料。KEM Lambda 200C利用基板支架、等离子体腔和过程控制单元来控制过程参数。控制单元使操作员能够通过对射频功率水平、频率和偏差进行微调来精确控制过程。基板支架能够容纳厚度可达8英寸（20厘米）且温度低至-60oC（-75oF）的基板。可以使用各种支架配置来支持各种基材和尺寸。等离子体室由一个带有水冷室头和电极的不锈钢室和一个真空密封石英窗组成。它设计用于低温工艺气体，使基板比其他工艺暴露于更高的温度。过程控制单元直观、人性化，允许轻松选择射频功率、频率、偏置和气流等参数。它还允许操作员调整工艺参数以获得所需的结果。过程控制单元还能够自动报告,从而允许操作员存储数据并监控其蚀刻/灰烬过程的结果。KOKUSAI Lambda 200 C能够清理多达4英寸（10厘米）的基板，并且可以定制以适应大多数半导体和平板材料的规格。Lambda 200 C具有直观的界面和内置的安全功能,是任何蚀刻/灰化过程的理想解决方桉。