二手 KEM / KOKUSAI Lambda 200IE #188566 待售

KEM/KOKUSAI Lambda 200IE是一种蚀刻器和asher，设计用于处理各种半导体晶圆。该设备采用LAM-5000技术将电子输送到晶圆表面。KEM Lambda 200IE由可容纳多达8个基板的两件式负载锁系统组成。自动卡带连接到射频发生器、离子源、磁控管电源和真空装置。KOKUSAI Lambda 200IE配备了大功率射频发电机和自动匹配，允许精确控制蚀刻速率和均匀性。可变载荷锁定方法可以适应多个晶圆尺寸和材料。此外,使用磁控管电源可以精确控制蚀刻和灰化时间、温度和压力。该机具有易于操作的图形用户界面和多个处理室。两个独立的腔室专用于干式和湿式蚀刻。干蚀刻室装有Ar和N2，用于蚀刻和减法干蚀刻，如SF6。湿蚀刻室装有温度范围为摄氏0-50度的DI-water。通过精确控制温度和压力，实现了高质量的保形层蚀刻。Lambda 200IE还具有适合各种产品应用的多种配置。例如,通过添加RIE/RIEC适配器,该工具可用于深度蚀刻。方便探针显微镜可用于样品结构和均匀性的目视检查。KEM/KOKUSAI Lambda 200IE是一种可靠、通用的半导体晶圆加工工具。此资产通过易于使用的配置提供了对许多流程变量的精确控制。两个专用腔室提供蚀刻和灰化能力，同时还具有温度和压力控制的高质量保形层蚀刻。