二手 LAM RESEARCH 12123-1-D-00162104 #9143213 待售

LAM RESEARCH 12123-1-D-00162104是一种主要为半导体制造而设计的蚀刻器/asher。这种设备是一种功能齐全的高速生产工具，能够在各种基于等离子体的过程中持续运行。它被设计为在深层反应性离子蚀刻（DRIE）模式和浅层沟槽形成（STF）模式下运行，广泛的应用包括铝、铜、二氧化硅和有机材料的蚀刻。12123-1-D-00162104 蚀刻器/asher具有20 "x 15"大小的工艺室,允许同时进行多种不同的蚀刻和研磨过程。腔室配有直接驱动电动机，提供精确的气流，提供优异的效果和可重复的效果。它具有用于配置最佳工艺参数的高级工艺控制器，设计为与现有生产操作兼容。LAM RESEARCH/Etcher/Asher采用双通道设计进行高效处理,可在单个通道内实现高速蚀刻和下游灰化。LAM Research 12123-1-D-00162104 Etcher/Asher的设计旨在提供卓越的蚀刻均匀性,从而提高生产效率和质量。它能够控制晶片和蚀刻面罩上的蚀刻速率，提供关键层的精确蚀刻。它还有一个先进的气体分配系统，平均分配气体，以帮助确保均匀薄膜图案特征。这样可以确保层间均匀沉积,从而在生产中实现稳定的运行和可靠性。该装置配有报警系统，提供温度和压力监控报警。它还具有先进的诊断功能,可帮助检测工艺室中的任何潜在问题。LAM RESEARCH 12123 蚀刻器/asher可以无缝集成到现有生产线中，其高级功能可以被利用来提供广泛的高效和经济高效的处理能力。