二手 LAM RESEARCH 2300 e4 Flex EX #9237727 待售

LAM RESEARCH 2300 e4 Flex EX是一款功能强大的多功能蚀刻器和asher,设计用于处理多种材料。该设备采用了LAM的自动端点检测（AED）技术,提供精确的结果控制,同时还提供了光束和配方参数的最高灵活性。该系统提供四个独立的抗蚀源,以获得更高效、更准确的结果以及多晶片处理功能。该单元提供对蚀刻深度、蚀刻速率、蚀刻面积和加工参数的可重复性的精确控制，以及出色的均匀性。该蚀刻和asher工具是为多重运行速率和处理速度优化而构建的。它具有两个独立的反应室，一个用于样品材料去除的电子束单元，以及可以一次卸载和加载多个晶片的锁载构型。该机还具有严密的温度和压力控制，以及一系列的化学气体，以符合用户定义的要求。2300 e4 Flex EX还提供具有广泛光束电流的柔性光束配置，允许更高的吞吐量和更厚的薄膜。该工具还提供了多种可配置的功能,如自动端点检测（AED）、自动级别分析（ALP）、可编程配方清理例程以及各种传感器接口,以优化蚀刻和灰化过程。此外，该单元还配备了陶瓷衬里，用于长期清洁室操作。该资产的界面用户友好且易于使用,可实现快速准确的参数重置。此外，该工具还配备了实时监控模型，有助于跟踪每个晶圆运行的进度。该设备包括一个用于快速创建配方的板载配方发生器，内置气体管理功能有助于监测气体的使用情况。此外,LAM RESEARCH 2300 e4 Flex EX还提供了一个RFID读取器,用于跟踪过程数据。这种高效可靠的蚀刻和asher工具非常适合短期内需要最佳性能的用户。它提供了高效的晶圆吞吐量、均匀性和准确的结果,用户干预最少。其先进的特性使其成为各种应用的合适选择，包括半导体、MEMS、医疗和LED器件制造。