二手 LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo #9172842 待售

LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo 蚀刻器/asher是一款功能强大、紧凑的设备,专为高通量应用而设计,需要精确的蚀刻、灰化和其他材料处理。它提供单步蚀刻和灰化以及蚀刻/灰化组合,可减少循环时间,同时确保一致性。该系统具有可调节的晶片到基板距离、增强的气体能力、增加吞吐量和正常运行时间的"海鸥翼"喷嘴设计,以及一套用于快速故障排除的内置循环诊断程序。这台机器还配备了两个集成的工艺室，每个室能够同时使用多达八个晶片，从而实现每小时的最大任务。通过这种配置，2300 e5 Kiyo 蚀刻器/asher可以在等离子体蚀刻、等离子体灰化、暴露硅蚀刻和暴露表面氧化物蚀刻模式下运行。该装置还可用于高端热氧化和CVD工艺----利用氮、一氧化二氮、氧气、氦气和其他气体----并能够达到高达1150摄氏度的工艺温度。LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo 蚀刻器/asher具有精密加工的金属氧化物硬化技术,可延长产品寿命,提高晶圆边缘的保持力。硬化表面还提高了安全性，因为它的设计可以防止放电问题。这台机器具有可自定义的控制界面以及直观的图形用户界面（GUI）和自我诊断功能。GUI显示实时计算机条件,并允许用户执行各种即时配方调整以获得最佳效果。这台机器由坚固的材料构成,以确保最大的正常运行时间和可靠性,并且可以集成到任何环境中,包括手动、半自动和全自动。一系列全面的选项和即插即用组件可轻松为任何流程或应用程序定制工具。它的设计还便于维护,并且可以通过其他部件和附件进行扩展,例如在处理过程中控制耗材和硬件的集成自动诊断算法。此外，2300 e5 Kiyo 蚀刻/asher符合环境和健康标准。