二手 LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo #9409252 待售
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ID: 9409252
Poly etchers
Cassette, 12"
Chambers:
(2) KIYO45
(2) KIYO EX
Stripper
Platform type: E5
EFEM:
(3) TDK TAS300 Loadport, P/N: S2096-76
KAWASAKI 3NT510B-A002 ATM Robot
BROOKS AUTOMATION 799-058309-003 ATM Robot
BROOKS AUTOMATION 196635 TM Robot, P/N: 401600-594-0001
EDWARD EPX180N IPump, P/N: A419-42-212
(5) GE 605-109114-001 CPUs
(5) 605-707109-012 VIOPs
(5) ENGENUITY 810-046015-009
(2) 853-031727-007 Temperature control units
(4) 810-495659-304 ESC Power supplies
(4) 685-801852-015 OES
VoDM
MKS Revolution III remote plasma source, P/N: 685-045803R034
(4) ESC, P/N: 839-019090-374
Gas configuration:
Gas box type: IGS
(18) Gas lines
MFC:
HORIBA SEC-Z719MGX
HORIBA SEC2719JX
HORIBA D219-SCT
SAM 2480G1
(3) MKS He UPCs
Strip gas:
(3) HORIBA SEC-Z719MGX
Vacuum gauge:
(3) MKS E58B-31775 Process vacuum gauges, 0.1 Torr
(3) MKS E28B-30200 Chamber vacuum gauges, 1 Torr
(2) MKS B28D-30518 Fore line vacuum gauges, 10 Torr
MKS 28PS0063 TM Vacuum gauge, P/N: 109070019CE
MKS 901P-81050-0070 Airkock1 vacuum gauge
MKS 901P-81050-0070 Airlock2 vacuum gauge
ACATEL ATH2800M Turbo pump
ACATEL Mag Power Turbo pump controller
(2) EDWARD STP-XA2703CV Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1600 Turbo pump controllers
BIAS RF Generator, P/N: 660-063437R003
TCP RF Generator
(2) BIAS RF Generators
(2) TCP RF Generators, P/N: 660-088888-002
(4) BIAS RF Matchers, P/N: 832-038915-001
(4) TCP RF Matchers, P/N: 835-043759-004
(4) BIAS RF Cables
(4) TCP RF Cables.
LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo是专门为包括硅片在内的器件基板的超低温处理而设计的先进蚀刻和灰烬工具。利用先进的等离子体物理和设备工程，2300 e5 Kiyo能够在蚀刻和灰化过程中达到低于10摄氏度的温度。这样可以更精确地控制蚀刻结果,从而使设备设计人员能够在制造之前更准确地建模和预测基板故障。LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo结合了多种不同的技术来创建精确的蚀刻。它结合了气体和等离子体输送系统，可以精确控制工艺环境，确保基板的材料性能不被改变。2300 e5 Kiyo利用独特的高频线性等离子体源在其源点产生高能离子轰击，提供了极高纯度和精确度的蚀刻和灰烬。而且，LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo的高级编程能力使得它相当通用，使得它可以在包括蚀刻、灰化、沉积和金属化等广泛的过程中使用。2300 e5 Kiyo还具有多种安全功能,包括在超压情况下自动关闭气体,在超流情况下自动关闭气体,以及集成的压力监控系统,以确保在整个制造过程中始终监控过程环境。除了令人印象深刻的处理能力外，LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo还能够通过利用先进的机器人技术来降低成本和提高生产率，从而实现连续的不间断批处理。此功能使用户能够在更短的时间内处理更多的设备,从而提高产量并加快周转时间。总体而言,2300 e5 Kiyo是一款先进的蚀刻器和asher,其设计目的是在一系列超低温过程中提供极其精确的结果。LAM RESEARCH 2300 e5 Kiyo通过其先进的等离子体物理、设备工程和机器人技术的结合，是设备加工和制造的强大而可靠的工具。
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