二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9015441 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45是一款先进的蚀刻器,主要用于半导体行业。它旨在提供微小特征的精确蚀刻和灰度处理,并在整个过程中实现自动化的工具控制和精确的一致性。Exelan Flex 45具有解决各种基材和工艺的灵活性,例如高纵横比特性、晶圆变薄和45度角度蚀刻应用。Exelan Flex 45的工具封闭式体系结构将平台和过程硬件与一系列真空泵、负载锁和源模块集成在一起,可灵活调整过程以获得所需的结果。此级别的集成硬件提高了流程精度,降低了操作成本,并确保了快速的晶圆吞吐量。蚀刻器/asher由嵌入式过程控制器控制，使操作员能够使用图形用户界面实时监控每个蚀刻过程。嵌入式流程控制还允许预先编程的配方设置和流程控制,并在每次运行蚀刻配方时提供准确、可重复的流程。Exelan Flex 45还采用了先进的蚀刻室设计,可提高均匀性,在此过程中改善晶圆清洁,并有助于最大程度地减少交叉污染。全平台真空结构有助于最大限度地减少微粒侵入，减少贵重卤化蚀刻剂的损失。蚀刻器/asher还配备了多种安全功能，如紧急关闭开关、可听警报和防止意外暴露于高温或化学蒸气的封闭架构系统。这些功能确保操作员和旁观者在操作过程中保持安全。2300 Exelan Flex 45是那些寻求顶级精确度和可重复性的人的理想蚀刻器/asher。利用集成的蚀刻室设计和自动化的工具控制，用户可以相信每次蚀刻都会产生准确的结果。此外，通过一系列安全功能，用户可以确信他们的操作员和旁观者是安全的。