二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9242075 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45是一款支持湿法、干法和特种蚀刻工艺的蚀刻器/asher。此工具能够为各种应用程序提供精确的蚀刻功能。它具有单晶片功能，允许晶片标记，以及高精度的焦点对准和倾斜控制。该工具旨在实现非常高的一致性、可重复性和准确性,以满足对蚀刻特征的严格要求。2300 Exelan Flex 45由耐用的不锈钢墙壁和重型制造部件构成,为精确的蚀刻操作提供了非凡的稳定性和较低的振动水平。蚀刻器/灰烬具有集成的射频控制系统,具有精确的频率调谐功能,可在广泛的蚀刻要求下提供最佳的蚀刻轮廓均匀性、重复性和均匀性。RF系统还允许用户在两种蚀刻模式之间切换，以支持快速蚀刻以及深度蚀刻。此工具还配备了多项高级功能以确保最佳性能。例如,LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45的设计采用自动化软件控制,以确保一致的蚀刻结果。此外,该工具还配备了热像仪,可以检测和调整晶圆上的温度变化,以确保均匀的蚀刻结果。该工具还包括防止样品过度曝光和防止设备损坏的自动化保护系统。2300 Exelan Flex 45蚀刻器/灰烬提供了当前可用的最高级别的一致性、准确性、可重复性和统一性。该系统为许多需要蚀刻金属或半导体材料的用户提供了绝佳的解决方桉。强大的结构和令人印象深刻的一系列功能使LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45成为一种多功能工具,即使是最苛刻的任务也能执行。