二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9252457 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45是一款蚀刻器/asher,在当今高度集成的下一代设备制造过程中提供卓越的性能和稳定性。此型号的蚀刻器/asher能够以最高的精度和精确度处理直径达45英寸的大型基板。2300 Exelan Flex采用先进的源室构建,可配置用于各种过程,如湿蚀刻、干蚀刻、抗蚀条、灰化和嵌入蚀刻。该室采用双区热控制，以确保均匀和一致的蚀刻吞吐量，并配备全自动装卸设备，以便进行高效处理。腔室还包含用于高效蚀刻的高斯光子束源，确保过程时间减少，蚀刻速率最大化。2300 Exelan Flex还具有多种工艺控制功能,可实现准确可靠的蚀刻和灰化。这包括射频和直流功率控制、压力控制、基板偏置和均匀温度控制。此高级系统还具有过程监视单元,可确保以准确和一致的方式执行蚀刻或灰化过程。2300 Exelan Flex还包括一台自动对齐机，用于将晶片定位在压板上。此工具无需任何手动干预即可实现小于5 µm的对准精度。此外，它的压力控制资产确保在蚀刻或灰化过程中均匀的压力传递在晶片上。2300 Exelan Flex还包括了一些先进的安全措施，如双隔离互锁模型，以确保蚀刻过程的安全性和准确性。它还有一个警报监控设备，在过程发生变化时发出可听的警告信号，这样操作员就可以快速评估并相应调整系统。最后,它的远程服务功能使蚀刻器/asher易于维护。总而言之,2300 Exelan Flex 45是一款功能强大的蚀刻器/asher,可为下一代设备制造过程提供卓越的性能和稳定性。其先进的特点和安全措施以安全、高效和经济高效的方式确保准确可靠的蚀刻和灰化效果。