二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9292907 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45是一款独特的蚀刻器/asher,专为满足现代设备制造和半导体生产的需要而设计。它是一种全自动设备，具有集成的工艺控制，广泛的蚀刻参数和高蚀刻速度。该系统适用于单面和多面蚀刻工艺，提供高质量、经济高效的解决方桉。LAM 2300 Exelan Flex 45利用先进的基板运动单元（SMS）在整个蚀刻过程中精确移动基板。基板被放置在密封室中，在密封室中对工艺参数进行精确控制和监控。集成的过程控制可确保高度的可重复性和一致性。该机具有广泛的工艺参数，可根据各种具体应用要求进行调整。这些参数包括温度、压力、流量、气体类型等.大部分蚀刻工艺参数都是可调的，允许很大程度的灵活性。这可用于优化生产产量，也可微调特定应用的蚀刻过程。此外，还可以采用复杂的晶圆映射技术，进一步提高产品的生产率和可重复性。智能过程控制功能还提供高效的过程结果实时监控和分析。LAM LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45开发时考虑到了现代的清洁空间。它将用户的便利和安全与动力和精度相结合。该工具配备了一个用户友好的、高度图形化的操作员界面，允许远程监控和控制流程参数。该资产甚至包括内置的远程诊断功能,允许远程诊断任何技术问题。LAM 2300 Exelan Flex 45可靠一致的蚀刻质量非常适合设备生产和半导体制造。LAM LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45具有广泛的可自定义参数、高蚀刻速率、集成的过程控制和强大的诊断模型,为经济高效的蚀刻应用提供了无与伦比的解决方桉。