二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45 #9292910 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex 45是一款蚀刻器/asher,具有一个带直接驱动Turbo@@-Molecular Pump组件的On-Axis加工室。此蚀刻器/asher提供了对蚀刻过程的高速和精确控制,并具有较低的停机时间和过程可变性。On-Axis加工室设计在晶圆的所有区域同时提供均匀且可重复的等离子体蚀刻，从而实现高通量和精确的等离子体均匀性。该腔室还可直接驱动Turbo-Molecular Pump组件,从而提高了泵送效率,并大大降低了维护要求。此蚀刻器/asher允许进行多晶硅蚀刻,并且On-Axis处理室具有可调节的特性,以便于对蚀刻过程进行微调。Exelan Flex 45强大的发电机提供了对主要蚀刻参数的精确控制,如蚀刻功率、频率和工艺压力。发电机还包含一个具有"封闭"环形磁体的高纯度远程等离子体源（RPS），可用于选择性蚀刻化合物和材料。该蚀刻器还包括广泛的安全功能，包括数据记录和监测系统，以确保最大标称压力和腔室温度。此外,Exelan Flex 45的闭环系统调节技术确保蚀刻参数保持在最佳水平,从而提高了晶圆的均匀性、生产率和可靠性。此外,Exelan Flex 45还具有广泛的应用程序,可用于各种蚀刻工艺。可用于各种蚀刻，如化学深蚀刻、接触蚀刻、离子铣削、反应性离子蚀刻、灰化、放电室蚀刻等。该蚀刻器/asher还设计了高达450°C的高温能力和专用的局部排气系统，可以去除臭氧、氧气、氮气等有害的工艺副产品。Exelan Flex 45可与多种气体兼容，其中包括的有氙气、氦气、氢气和氮气，并且能够为其应用处理少量和大量的气体。Exelan Flex 45是一款高效且用途广泛的蚀刻器/asher,可提供可重复的等离子体蚀刻和灰化结果。其轴上加工室设计和闭环系统调节技术最大限度地提高了吞吐量和晶圆均匀性，同时最大限度地减少了停机时间和过程的可变性。这种蚀刻器/asher是一种用于各种蚀刻工艺的理想工具，其广泛的应用和安全特性使其成为任何实验室的宝贵补充。