二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293619655 待售
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ID: 293619655
晶圆大小: 12"
Dielectric etcher, 12"
EFEM
AC Rack
VTM
(3) Gas boxes
GIB
(3) PM
(2) LP
Pallet: Cable and chiller hose
RPDB Rack
Process kit
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(2) / - / Signal tower lamp assembly
(1) / 685-068190-004 / Gaille board
(1) / 685-068191-004 / Gap drive
(1) / 685-319860-001 / Iron server
(1) / 605-109114-001 / CPU Board
(1) / 857-019053-004 / ATM Robot
(1) / 799-000492-003 / VTM Robot body
(1) / - / VTM Robot arm
(1) / 810-066590-004 / Stepper board
(3) / 853-040482-600 / 3-Frequency matcher
(3) / 660-080455-300 / 2 Mhz Gen
(3) / 660-072825-200 / 27 Mhz Gen
(3) / 660-072826-200 / 60 Mhz Gen
(1) / 810-800256-207 / Node Board
(1) / - / LP Motherboard
(1) / - / LP Motherboard
(1) / - / LP Solenoid box
(1) / - / LP Solenoid box
(1) / 2/8 Add / OES Unit
(1) / 2/8 Add / APC Actuator board
(1) / 2/8 Add / V10P Board
(1) / 2/8 Add / LTC Board
(1) / 2/8 Add / VME Box (I/B+M/B).
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+是一款先进的蚀刻/asher设备，为半导体制造商提供可靠、准确的蚀刻和灰化解决方桉。该系统是一种先进的、全自动的、使用多种技术的单晶片设备，包括热CVD、等离子体蚀刻和真空技术。该单元具有一个大的腔室和足够的空间，可容纳直径可达300毫米的扩展晶片。腔室充满惰性气体，为蚀刻和灰化提供了非常干净的环境。该机采用精密运动工具，提供了极其精确的蚀刻和灰化。该资产还提供可预编程的蚀刻和灰化配方,这些配方可实现精确的过程控制,并使用户能够调整蚀刻和灰化参数以获得准确的结果。该模型还具有很高的固有蚀刻质量和均匀性，允许可靠和可重复的过程。2300 Exelan Flex EX+还配备了确保过程可靠性的高级安全功能。这些安全功能包括自动终止蚀刻和灰化过程（如果超过任何设定限制）,温度监控以防止温度过高损坏和结果数据记录,从而使用户能够快速识别任何与过程相关的问题。总体而言,LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+是半导体制造的理想蚀刻和灰化解决方桉。由于其精确的运动系统和预编程的配方，这种设备是可靠的，并提供了良好的一致效果。它的安全功能还可以确保过程的可靠性,因为在任何潜在的问题发生之前就会阻止它们发生。此单元是一个可靠的高性能解决方桉,可满足任何半导体蚀刻和灰化需求。
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