二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293641915 待售
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ID: 293641915
晶圆大小: 12"
Etcher, 12"
Aligner
BROOKS Express load port
571-810321-10598 EFEM
BROOKS 138150 Robot
571-810320-10598 VTM
108000-37 VTM Robot magratran 7
101543506270005 AC Rack
108358 Robot controller
571-035344-10598 GIB
(3) Process Modules (PM)
853-243881-001 Generator cart
RPDB
Gas box:
Part number / Line / Description
571-033051-001 / 16 / IGS Gas box
571-033051-002 / 16 / IGS Gas box
571-033051-003 / 16 / IGS Gas box
Missing parts:
(2) Signal tower lamps
(3) 853-040482-600 Matchers
(3) 660-080455-300 Generators, 2MHz
(3) 660-072825-200 Generators, 27 MHz
(3) 660-072826-200 Generators, 60 MHz
(3) 628D-26910 CM1 BARATRON Manometers, 100 mT
(3) EI-R04M Turbo pump TMP-2804LMC Controllers.
LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+Etcher/Asher是一款小巧但功能强大的机器,旨在确保在广泛的蚀刻和灰化过程中获得卓越的效果。它非常适合各种生产和研究应用，如反兴奋剂研究和我们高效的离子束溅射蚀刻。蚀刻器配备了多种功能,使其能够提供最大性能和可靠性。该设备由固定速度排气鼓风机组成，可确保经济运行，使系统能够长时间运行，而不会损坏部件。它具有多种高级功能,可对蚀刻速率和均匀性进行精细控制。Exelan Flex EX+具有广泛的蚀刻化学特性，包括：氯、溴、氟、硫、铝和钛蚀刻剂。该单元可以安全地加工各种尺寸、形状和厚度的金属、陶瓷或聚合物基板。其专利的反应式电还原机允许在最多六个晶圆加工地点进行蚀刻加工。该工具易于使用,非常适合研究、单批量制造和批量生产。它提供卓越的表面质量和粒子控制，以及在整个腔室的长度高均匀性。广泛的安全功能不仅确保资产的寿命长，而且使其成为市场上最安全的蚀刻器/灰烬系统之一。Exelan Flex EX+以最高的可靠性而设计,提供一贯可靠的性能,使其成为许多蚀刻和灰化过程的理想解决方桉。高效、节省空间的设计使它能够适应各种实验室和生产环境。2300 Exelan Flex EX+Etcher/Asher是一款可靠的机型,一定能提供卓越的效果。
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