二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+ #293643636 待售
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LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+是一款高效的蚀刻器/灰化器,旨在为广泛的应用程序提供湿法和干法支持。它具有强大的设备体系结构以最大限度地提高生产效率和吞吐量,并改进了冷却功能以实现卓越的工艺一致性,尤其是在干燥工艺中。2300 Exelan Flex EX+配备了专有的低压氯基气体注入系统，允许用户在比传统蚀刻系统低得多的水平上利用气体浓度。这一点,加上其卓越的温度均匀性,可以精确控制一系列材料的蚀刻速率,使其成为高级工艺集成和精密蚀刻应用的理想选择。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+还具有先进的单元体系结构,旨在实现均匀性、可重复性和优化的过程控制。2300 Exelan Flex EX+还具有高级、灵活的设计选项,以适应不同的基板尺寸和几何形状。其三区泵机配置可优化所有加工模块的所有基板尺寸要求,提供完美的一致性、均匀性和工程控制。它独特的多轴可配置终端效应器能够在目标模块中可靠、平稳地定位基板,从而实现精确和可重复的过程执行。在安全性方面,LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex EX+配备了先进的工艺监控器,可确保适当的基材转移和准确的工艺控制。它还提供各种微调和诊断工具,以确保最佳性能和流程一致性,以及实时流程监控,从而能够排除意外问题。总而言之,2300 Exelan Flex EX+是一款尖端蚀刻器/asher,提供出色的蚀刻功能、坚固的刀具体系结构、改进的冷却性能,以及针对不同基板的灵活设计选项。它专为蚀刻工艺的精确度和可重复性而设计，并具有高级功能，以提高工艺控制和安全性。
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