二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #293609173 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX是一款高级蚀刻/asher设备，专门设计用于光掩码操作。它集成了创新的过程控制和管理解决方桉，以产生高质量的蚀刻模式。该系统在蚀刻和剥离率方面具有灵活性，选择性高，工艺稳定性好，生产率高。这使得它适用于半导体、MEMS和展览技术领域的广泛应用。该单元采用激光束、反应性离子蚀刻（RIE）和基于等离子体的蚀刻工艺。2300 Exelan Flex FX采用开放体系结构设计,允许用户自定义蚀刻参数和工艺参数。这台机器具有较高的可重复性、较高的选择性和较高的蚀刻速率。现场控制和管理解决方桉使用户能够同时编程和控制多个过程,从而减少编程时间和成本。此外,它还提供实时流程信息,以改进流程理解和纠正操作。该工具配备了超高分辨率的3D图像传感器，用于精确蚀刻图样和过程控制。它还具有可配置的激光光束传送资产，可精确控制光束功率和方向。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX提供自动过程控制,以确保在所有蚀刻和剥离任务中均获得最佳效果。该蚀刻器的设计采用了获得专利的高度可靠的闸门模型以及精确的加热和冷却系统，以在蚀刻过程中保持所需的温度。此外,2300 Exelan Flex FX提供精确的压力和流量控制机制来优化蚀刻应用程序,并提供一系列诊断工具来监控流程性能。其控制模块使用户能够配置设备参数，以确保最佳蚀刻轮廓和结果。高选择性和最佳蚀刻速率使设备能够快速完成。该系统还设计有安全功能，如联锁、现场过程控制和压力监测，确保操作员随时安全。总体而言,LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX是一款高度先进的蚀刻设备,可为用户提供精确的控制、可靠可靠的过程控制、高保真蚀刻图样和精确的过程管理。这使其成为光掩码操作和行业领先技术领域的理想选择。