二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #293810852 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX是一款双腔室蚀刻/分离器,旨在满足各种高级蚀刻工艺的需求。它能够在单个过程运行过程中同时提供化学和等离子体蚀刻/灰烬,从而提高了生产要求的吞吐量和灵活性。2300 Exelan Flex FX配备了直观的人机界面（HMI），允许直观的用户输入和监控。HMI显示实时参数，使操作员能够准确、轻松地监控和调整流程参数。此外,LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX型号与许多软件系统兼容,可轻松集成到流程工程师现有的工作流程中。2300 Exelan Flex FX设计用于真空和大气应用。它配备了变速输送机，以及可移动的气箱和可调节的工艺压力室。双腔室设计允许同时使用多种蚀刻化学，并能够改变腔室之间的加工时间。LAM RESEARCH 2300 Exclan Flex FX凭借其可编程的处理参数和精确、精确的可重复性，实现了较高的灵活性。这使得精确的蚀刻食谱每次都能准确再现。此外,无论工艺配方如何,双腔室都能通过精确一致的蚀刻性能为高产产品提供最大的加工窗口。Exelan Flex FX具有各种安全功能,例如真空互锁、接近传感器、ESD屏蔽和安全外壳,确保了操作员的安全生产环境。该设备还利用先进的软件控制能力，实现远程进程监测。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX是一种多功能的蚀刻/灰分系统,具有较高的吞吐量和优异的产量。该单位产生了精细的蚀刻配方，具有精确的可重复性和高可靠性，允许提高产量。先进的控制能力和安全特性，以及显着的过程重复性，使得这台机器适合各种高科技应用。