二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #9359417 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX是一款高级蚀刻/asher设备,专为高吞吐量制造而设计。它为广泛的关键应用提供了最大的灵活性,例如光伏、半导体、MEMS、光电和其他纳米结构。这种具有成本效益的系统可以用来蚀刻各种材料的多层，具有一致的高产率。此外,其独特的设计提供了出色的均匀性在蚀刻,以及出色的清洁性能.2300 Exelan Flex FX为需要重复、均匀蚀刻以及高批量吞吐量的应用程序提供了极好的流程灵活性。它的动态气流过程使它能够同时蚀刻多达四层不同的材料。多层蚀刻支撑功能还允许同时对不同材料进行图样和蚀刻。该单元的高精度和高速度促进了复杂模式的快速周转时间，缩短了周期时间，改善了蚀刻质量的均匀性，提高了产量。在蚀刻源方面，LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX配有高能密度蚀刻源（HEDES）和广泛的加工气体，以支持各类蚀刻应用。其HEDES产生高能量，允许快速蚀刻速率与高各向异性。它还配备了先进的热控制机，为可重复的过程提供了对高温的卓越控制。2300 Exelan Flex FX包括先进的安全功能,可确保安全运行并防止因意外电源短缺而损坏电池。它的高级监控功能还允许用户实时观察和监控单个单元性能。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX还包括高级诊断功能,可在多层蚀刻中提供可靠的蚀刻稳定性和可重复性验证。此外，其独特的腔室设计还具有可移动腔室底座，便于清洁和维护。它还配备了强大的自适应控制系统,可实现出色的过程准确性、可重复性以及适应变化的部件配置的灵活性。总体而言,2300 Exelan Flex FX是一款出色的蚀刻器/asher工具,旨在为各种关键应用程序提供最大的灵活性和可靠的蚀刻性能。它提供无与伦比的性能、精度和安全功能,同时提供卓越的产量和强大的工艺效率。