二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293675856 待售
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ID: 293675856
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Etcher, 12"
(3) Process chambers
(1) Transfer chamber
Pump and controller missing
2005 vintage.
LAM 2300 Asher/Etcher是一种用于半导体及相关工艺操作的干工艺asher/Etcher。它非常适合需要低温和低压或高压氧血浆的工艺。2300先进、功能丰富的设计包括集成载流子和加热器、双转子、闭环质量流设备、集成真空沉积、集成高效排气。LAM 2300的内部加热器和封闭式气体输送系统能够精确控制基板加工温度和轮廓状态的均匀性。集成的双转子闭环质量流单元可确保过程气体在整个处理周期内保持在安全的温度和压力参数内。集成真空沉积模块可用于覆盖基板上有一系列的材料，从金属，聚合物，薄膜氧化物层。2300的创新设计和直观的操控机，使其成为业界最可靠的保存蚀刻器/ashers之一。它与各种标准的加工管兼容,具有各种尺寸和加热板尺寸。LAM 2300还配备了先进、高效、高强度的排气工具，用于高效清除排气副产品。排气资产允许快速的模型设置和压力维护，同时也将浓缩烟雾的浓度降至最低。2300提供聚焦气体束,有助于提高蚀刻质量和特征的均匀性。LAM 2300上的两级可变电源提供了对工艺参数的精确控制，包括时间、压力、气体比、流量以及工艺气体的指定浓度。这些参数可以在过程中随意变化，从而实现卓越的工艺质量和可重复性。此外,2300全面、集成的安全功能可保护您的员工免受与危险过程条件相关的风险。
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