二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293725149 待售

LAM 2300是一种适用于实验室环境的高级蚀刻器/灰化器,能够对200 mm尺寸的基板进行高精度蚀刻和灰化。该装置具有三种不同的蚀刻技术-感应、电阻和低温-允许广泛的应用进行。感应蚀刻器/asher使用感应线圈产生交替磁场，感应元件中的涡流产生局部加热。此过程产生的热量损失最小,允许在细腻的元件上进行蚀刻,而不会损坏它们。电阻蚀刻器/灰化器的工作原理是通过单个电极传递电流并创建局部加热区。这种设备需要能量转换，对于非均质材料是最佳的。低温工艺是最精确的蚀刻技术。它使用液态氮浴和溷合热交换器。这个系统有两种工作方式，冷却剂吸收残留的热能以降低元件的温度，同时也汽化以产生真空，使元件进一步冷却。此过程允许超精细蚀刻和灰化结果。安全方面，2300配备了过温预警单元、冷却高压容器和均匀蚀刻温度的压力均衡机，对用户安全。LAM 2300具有先进的蚀刻能力、精确度和安全性,是实验室环境中任何蚀刻和灰化需求的理想选择。适用于广泛的材料，包括半导体晶片、电阻材料和金属，可以用来蚀刻或灰烬各种形状和尺寸。其集成的监测和控制工具使过程更容易和更高效，从而产生高质量的蚀刻和灰烬结果。