二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293767096 待售
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LAM 2300 Exelan是实验室先进的蚀刻/灰化设备,为各种样品提供精确的蚀刻和灰化解决方桉。该系统允许多个过程周期,并且可以与各种基板配合使用。LAM Exelan 2300提供了一个动态蚀刻室,它提供了均匀蚀刻和自动灰化过程。该装置还设有一个完全封闭的氮气净化室，可消除外部大气污染。Exelan 2300还配备了车载计算机,用于操作控制和数据分析。该软件有RAM和ROM两种内存类型,用于程序设计和存储。它包括一个易于操作的图形用户界面（GUI）,在编程和监视方面提供了灵活性。LCD触摸屏显示屏可详细控制过程参数,包括指定的气流、温度和压力。LAM Exelan 2300还能够执行各种蚀刻和灰化过程。它配备了干蚀刻、湿蚀刻和CMP蚀刻能力，可以去除1至10µm/min的物料速率。该工具还可以以高达10000 rpm的转速进行湿蚀刻和O2蚀刻。此外，Exelan 2300在受控条件下运行，温度从室温到200 °C不等。LAM Exelan 2300是用于蚀刻和灰化解决方桉的可靠的工艺资产。配备高温、循环时间快，保证精密蚀刻和灰化操作。其车载计算机模型提供了一个方便用户的图形用户界面，便于操作和编程，而其用于编程和数据存储的单独内存进一步增加了设备的便利性。2300 Exelan是一个先进的系统,可确保精确操作,确保在蚀刻和灰化解决方桉中获得最佳效果。
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