二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293767136 待售
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LAM 2300 Exelan Flex是一款精密的蚀刻器/asher,专为半导体行业的高精度蚀刻和表面灰化应用而设计。这台机器使用了一种名为Laser Direct Write的创新技术，在包括金属和氧化物层在内的一系列材料中实现优越的蚀刻和灰化效果。利用复杂的用户控制平移床将激光束的图样传输到工件上，精确定位激光束并控制其功率。该设备还包括专有软件，以确保各种材料的最佳蚀刻和灰化效果。2300 Exelan Flex配备了功率范围为1-20 W的先进激光二极管发射激光辐射，能够以高达每秒1 μ m的深度速率蚀刻或灰化厚度达1 μ m的层。该机还具有一个带有封闭的充氮真空室的腔室，确保安全和最佳的蚀刻和灰化过程。封闭式腔室提供了一个洁净的房间环境，具有很高的准确性和可重复性。此外,LAM 2300 Exelan Flex还配备了一个先进的运动控制系统,该系统具有多个伺服电动机轴和一个在三个维度上移动的机器打印头,可进行精确的平移床调整。激光头控制激光光束强度、高度和所需气体流速，以实现最佳蚀刻和灰化过程，以及先进的激光控制相机，具有自动对焦功能。内置的计算机提供直观的图形用户界面和自动化的过程，以便于操作。2300 Exelan Flex的设计考虑到安全性,具有氮气净化装置、低噪音操作和紧急联锁机器。其高精度和可重复性适用于众多蚀刻和表面灰化应用。凭借创新技术和用户友好的界面，是半导体制造的理想选择。
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