二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293768859 待售
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ID: 293768859
优质的: 2007
Dielectric etcher
Process: CuOx
(3) Load ports
EDWARDS iH600 Pump
Gases:
C4F6
He/O2
O2
CH2F2
C4F8
Ar
CHF3
H2
N2
CF4
2007 vintage.
LAM 2300是由LAM Industrial Automation Inc.开发的自动化asher/蚀刻室设备,用于需要半导体级精度和可重复性的工业级应用。2300具有高可靠性、低成本和灵活性的独特组合,是研究、制造、样品制备和其他广泛工业应用的理想选择。LAM 2300是围绕一个耐腐蚀的不锈钢室和真空压力系统设计的，能够在操作过程中保持高达30 psia的压力。该装置设有优质粉末和骨料送料机，一个单独的加热气室，最多三个独立的反应区，以及一个强大的反应堆回收机。进料器和加热的气室可以通过直观的操作员界面进行精确控制，允许更精确的蚀刻和沉积应用。2300坚固的容器设计允许各种可互换和可移动的工艺室,允许各种定制蚀刻和沉积应用。反应室的多功能设计可以适应薄膜加工、大面积沉积和化学表面处理，而反应堆回收工具则提供灵活的批量或连续操作。LAM 2300还配备了可用于确保工艺安全的环境监测功能。其集成的双区域温度和压力控制提供了精确和即时的过程控制,而其全自动软件资产提供了一定程度的过程监控和报告,这对于在当今与UHV兼容的沉积系统中保持一致和可靠的性能至关重要。2300为工业级蚀刻和沉积应用提供了最佳解决方桉。其紧凑、高效的设计使其非常适合空间和功率是关键考虑因素的情况,而其满足定制要求的能力允许在广泛的蚀刻和沉积应用中具有高度的灵活性。LAM 2300的强大操作、广泛的流程功能、低成本和快速的安装,使其成为高精度和重复使用应用程序的理想选择。
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