二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9000118 待售

LAM 2300 Exelan Flex是一款专业级蚀刻器/asher，专为量产和超高精度微加工应用而设计。这是全球领先的蚀刻设备制造商之一LAM Research的最新产品。2300 Exelan Flex具有快速、精确和高效的蚀刻性能。与传统蚀刻系统相比,总周期时间显着缩短,从而提高了吞吐量。该设备采用先进的超紧凑设计,使其具有高度的通用性,并允许用户充分利用其紧凑的空间。它还设计了一个集成的机器人手臂，以增强易用性。机械臂有助于定位和倾斜基板,以获得最佳的蚀刻精度.4轴机器人手臂可以远程或编程操作，以实现最大程度的控制和可重复性。LAM 2300 Exelan Flex还具有一系列其他创新功能。它配备了高功率激光器，使用飞秒和皮秒的脉冲持续时间，提供卓越的蚀刻精度、深层硬件凋刻以及广泛的定制精细间距蚀刻。基板蚀刻操作由先进的AEPS 3.2软件控制器管理。通过执行复杂的计算、多轮自动对齐以及按需微调用户蚀刻参数,可以确保卓越的过程控制和数据准确性。此外，该系统设有压力密封蚀刻室和内置环境监测，以确保在多种操作条件下性能一致。这包括一个内置的过程温度控制器和温度阀，提供可靠的温度反馈和控制。机载氧气集中器进一步有助于确保均匀的蚀刻性能和可重复性。为了进行预防性维护和保养，该单元采用了创新的自我维护机器。这提供了一种安全方便的方法来监控和控制系统的运行稳定性以及操作和性能参数。该工具还具有内置警报和警告,以及手动覆盖功能。总体而言,2300 Exelan Flex是一款最先进的蚀刻器/asher,专为生产和精密微加工应用而量身定制。该资产结合了多项高级功能，包括先进的软件控制器、高功率激光器、4轴机器人臂、集成的压力密封蚀刻室以及有效的自我维护模型，能够以最小的维护实现一致和可靠的性能。