二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9061909 待售

LAM 2300是一种真空设备，带有垂直载荷锁室，结合了抗蚀涂层系统。抗蚀涂层工艺用于在基材上沉积一层保护层材料。2300是一种多功能、功能齐全的设备,能够创建复杂的设备结构。LAM 2300利用扩散限制性涂层技术在基板上均匀地沉积一层保护层材料，如蜡、抗反射和/或正光致抗蚀剂。该机还允许精确控制层厚度和蚀刻均匀性。真空负载锁结合精密蚀刻和抗沉积能力，使用户能够精确控制工艺条件，从而对结果进行精确控制。2300是一种先进的计算机控制工具,可以手动或自动模式操作。操作员可以在几个步骤中调整过程参数，如压力、温度和时间。计算机化的控制使操作员能够轻松地监控和调整过程参数，有助于确保过程的可重复性。LAM 2300装有PZT（压电转印镜），用于蚀刻薄膜和厚膜。PZT将电脉冲精确传输到基板上，使资产能够精确蚀刻薄而厚的抗蚀膜。该模型还可用于蚀刻晶片、圆盘、条带和其他类似的基材。2300能够加工各种材料，包括金属、氧化物、氮化物和聚合物。它还能够进行毯子和图案蚀刻，以及光刻和等离子体蚀刻。该设备可用于涂覆、选择和设计具有多种涂层化学成分的基材，包括自旋玻璃和EUV/UV抗扩散涂层。LAM 2300耐涂层系统高效可靠.它易于使用和维护，能够产生高质量的蚀刻和抵抗沉积结果。该单元非常适合制造复杂结构，如MEMS、薄膜晶体管和微组装组件。该机是高通量、高精度器件制造的理想选择。