二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9121960 待售

LAM 2300是一种双室金属蚀刻设备，用于将vias等小特征快速蚀刻成半导体和MEMS基板。它具有多用途版本,其中包含蚀刻和清洁过程中使用的组件。该系统能够进行多种蚀刻工艺，包括精密湿蚀刻、干蚀刻、含氟聚合物蚀刻和磁控管溅射。这些工艺既用于单一基板生产，也用于大规模生产结构较为复杂的基板。该单元包括两个独立控制的子室，每个子室包含一个向下定向的圆柱形蚀刻室。它能够处理多达350毫米的晶圆，并有一个升高和旋转的磁感器，允许各种复杂结构的精确定向和蚀刻。对于每个子室，在湿蚀刻或溅射过程中使用单独的阴极/阳极对。该机器包含一个气体输送工具，根据所使用的工艺，该工具能够产生极为广泛的特殊气体。2300还包括一条强大的后处理清理线,允许在蚀刻过程之后进行额外的处理。这条线能够进行积极和温和的清洁，包括使用HF和SC-1解决方桉。该资产还能够同时运行慢速和快速蚀刻,从而可以精确蚀刻非常小的特征。LAM 2300还具有触摸板控件和预先编程的配方,可实现快速高效的操作。总体而言，2300是一种极具效率和强大的金属蚀刻模型，用于许多工业和科学应用。其独特的特点，如它的两个子室和后处理清洁线，允许快速和精确的蚀刻和清洁各种基板和结构。因此,它是一个强大的工具,对于许多现代制造应用程序至关重要。