二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9222733 待售
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ID: 9222733
晶圆大小: 12"
Oxide etcher, 12"
AC Rack
Power control rack: AC Rack and P/C
(2) Exelan chambers
Gas module for (3) Exelan chambers
Parts
(3) Cable boxes
Vacuum transfer module:
Airlock: Right and left
TM / PM Facility line
Process module 1 and 2:
(2) Exelan chambers
VAT Pendulum value
Missing parts:
(2) BROOKS Load ports
ATM Robot
Wafer alignment
Wafer alignment module
VTM Robot
Turbo pump (ATH 1600M)
Turbo controller
RF System A/C power
Generator (TCP)
Generator (BIAS)
EFEM
MagnaTran 7
Loader
ESC
RF Cart.
LAM RESEARCH 2300 Exelan是由LAM RESEARCH Corporation设计制造的Etch/Asher设备。它是一个完全自动化的系统，能够处理直径达200毫米的晶片。该装置采用单晶片工艺模块和腔室加热化学蒸汽输送机。2300 Exelan工具既高效又可靠,适合处理各种尺寸和结构的晶片。它的腔室具有可调节的温度控制，可向上或向下调整15°C，允许精确和可重复的处理结果。它还具有改进均匀性、提高精度和最小化晶片损坏的集成设计功能。LAM RESEARCH 2300 Exelan Etch/Asher资产的工艺压力高达760 mTorr,可在70°C至350°C的温度下运行。它配备了用于传输晶片的传输工艺和能够通过快速变化的气体温度降低芯片均匀性的振动器。该模型还具有低尘埃过滤器，用于在晶圆加工过程中捕获尘埃颗粒。此外，它的负载锁门具有真空密封和先进的安全功能，确保不会有污染物进入设备或造成损坏。2300 Exelan系统还配备了先进的性能分析单元，允许用户优化配置文件性能，提高可重复性。该机具有强大的软件界面，允许用户控制参数和监控数据，并提供用户友好、直观的图形界面进行操作。LAM RESEARCH 2300 Exelan是广泛材料的高通量蚀刻/灰化的理想解决方桉,包括Si、GaAs、Ti、多晶硅和非晶硅。它在设计时考虑了耐用性和灵活性,是当今市场上最受欢迎和最可靠的蚀刻/灰化系统之一。
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