二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9003988 待售

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ID: 9003988
Flex etch system, 8" (3) Chambers 2300 Ver 2.0 Mainframe Robot CDM Cable Lengths (TM to Sub Panel) : 100ft Loaders included Cassette Interface: (3x) Open Cassette 25 Slot Input Buffer Station User Interface: Front Mount Side (3x) 2300 Exelan Flex LEAP Etch Chambers: Kalrez O-rings PM ISO Valve (Chemraz Rocker V) Dual Chiller New Heater for IGS Gases Cable Lengths (EMO/Gateway) : 50ft Quick Clean Kit Service Tool Kit Gas Box: (9) Gas line Config (IGS) (1) Additional Gas line IGS) Heated Gas line Package Gas Interface Box (Covers 3 Process Modules) Gas Box Configuration (MFC: HORIBA STEC Z300) Line# - MFC Type - Gas - Size (sccm) 1 SZ313 C4F8 50 2 SZ313 NSR 50 3 SZ313 Ar 1000 4 SZ313 O2 200 5 SZ313 CO 200 6 SZ313 CF4 200 7 SZ313 H2 500 8 SZ313 CH2F2 50 9 SZ313 O2 3000 10 SZ313 N2 1000 11 SZ313 CHF3 100 12 SZ313 O2 20 RPDB for Dual Channel Pump Exhaust Dilution Box Options: System UPS Support GFI CBs System Calibration & Alignment Kit Signal Light Tower (R-A-G-B-C) 200mm Signal Lamp Tower Mini Environment Air Intake Software: APC Recipe Tuning 2nd HSMS(Fab Common) Support De-installed 2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan是一款先进、高精度的等离子体蚀刻设备,用于在硅和玻璃等材料的表面创建高质量、错综复杂的图桉。该系统旨在提供对蚀刻过程的精确控制,允许创建高度复杂且边缘效果最小的图桉。Exelan设备配备了先进的成像机和集成的模式控制,能够实现精确的模式控制。成像工具捕获基板的图像,然后将其用于控制蚀刻的位置和要去除的材料的数量。资产还配备了闭环功率调节器,允许模型在蚀刻过程中对功率输出进行精确调整,确保材料在所需参数内蚀刻。设备通过软件进行编程,允许用户使用直观的用户界面自定义他们的蚀刻模式。该系统还具有高级查询语言,可以自动进行数据评估。此功能允许用户快速分析蚀刻图桉,实时调整蚀刻过程。Exelan设备设计用于半导体生产,为在硅和玻璃基板上创建复杂的图样提供最高精度。该机器设计得极其可靠,故障率低,停机时间最短。先进的成像工具、精确的电源控制和高级的查询语言使用户能够快速、精确地创建精确的蚀刻。
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