二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9003988 待售
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ID: 9003988
Flex etch system, 8"
(3) Chambers
2300 Ver 2.0 Mainframe
Robot CDM
Cable Lengths (TM to Sub Panel) : 100ft
Loaders included
Cassette Interface:
(3x) Open Cassette
25 Slot Input Buffer Station
User Interface:
Front Mount
Side
(3x) 2300 Exelan Flex LEAP Etch Chambers:
Kalrez O-rings
PM ISO Valve (Chemraz Rocker V)
Dual Chiller
New Heater for IGS Gases
Cable Lengths (EMO/Gateway) : 50ft
Quick Clean Kit
Service Tool Kit
Gas Box:
(9) Gas line Config (IGS)
(1) Additional Gas line IGS)
Heated Gas line Package
Gas Interface Box (Covers 3 Process Modules)
Gas Box Configuration (MFC: HORIBA STEC Z300)
Line# - MFC Type - Gas - Size (sccm)
1 SZ313 C4F8 50
2 SZ313 NSR 50
3 SZ313 Ar 1000
4 SZ313 O2 200
5 SZ313 CO 200
6 SZ313 CF4 200
7 SZ313 H2 500
8 SZ313 CH2F2 50
9 SZ313 O2 3000
10 SZ313 N2 1000
11 SZ313 CHF3 100
12 SZ313 O2 20
RPDB for Dual Channel
Pump Exhaust Dilution Box
Options:
System UPS Support
GFI CBs
System Calibration & Alignment Kit
Signal Light Tower (R-A-G-B-C)
200mm Signal Lamp Tower
Mini Environment Air Intake
Software:
APC Recipe Tuning
2nd HSMS(Fab Common) Support
De-installed
2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan是一款先进、高精度的等离子体蚀刻设备，用于在硅和玻璃等材料的表面创建高质量、错综复杂的图桉。该系统旨在提供对蚀刻过程的精确控制,允许创建高度复杂且边缘效果最小的图桉。Exelan设备配备了先进的成像机和集成的模式控制，能够实现精确的模式控制。成像工具捕获基板的图像,然后将其用于控制蚀刻的位置和要去除的材料的数量。资产还配备了闭环功率调节器，允许模型在蚀刻过程中对功率输出进行精确调整，确保材料在所需参数内蚀刻。设备通过软件进行编程，允许用户使用直观的用户界面自定义他们的蚀刻模式。该系统还具有高级查询语言,可以自动进行数据评估。此功能允许用户快速分析蚀刻图桉，实时调整蚀刻过程。Exelan设备设计用于半导体生产,为在硅和玻璃基板上创建复杂的图样提供最高精度。该机器设计得极其可靠,故障率低,停机时间最短。先进的成像工具、精确的电源控制和高级的查询语言使用户能够快速、精确地创建精确的蚀刻。
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