二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9116018 待售
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已售出
ID: 9116018
晶圆大小: 12"
优质的: 2002
Dielectric etcher, 12"
1600 L/S Edwards turbo pump
PM ISO Valve: Chemraz rocker valve
NSR5247 A: Flex Configuration
2300 Exelan quick clean kit
2300 Exelan pend
Valve kit
2300 Exelan gas box
Regulated Inlet (per Gas Line)
(12) Gas configuration
Aera FC-D980CU MFC
NSR5248_A: Line 11 100sccm O2/He (30%)
Delta stacking kit
2300 Platform
(3) FOUP
WIDS BTM Read
User interface: Side and front monitor
System UPS circuitry
Cable: TM-subpanel, 50FT
SYS Calibration and alignment
TM NSR 1: VTM Dynamic alignment
Currently installed
2002 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan是一款最先进的高品质蚀刻器和asher,用于高端半导体元件的制造。它配备了先进的工艺控制、独特的洁净室设计和精密天线,使蚀刻过程具有更高的一致性和准确性。2300 Exelan将先进的射频升空技术与高分辨率、精确的成像系统相结合,产生精确的蚀刻图桉。这个过程在集成电路和其他电子元件上创建精确的三维地形。通过控制工艺中使用的瓦数和调节曝光时间,可以控制蚀刻图样的精度。LAM RESEARCH 2300 Exelan独特的清洁室设计有助于确保过程中的最佳清洁度。这种设计具有不锈钢面板和门、透明观察窗、双级过滤系统、低颗粒完整性和优化的空气过滤流量。这有助于减少污染、提高产量和尽量减少腐蚀的影响。2300 Exelan还配备了多项综合安全功能,以保护操作员、舱室和设备。这些包括火灾探测、温度控制和压力监测系统。这有助于最大程度地减少损坏正在蚀刻的组件的风险。LAM RESEARCH 2300 Exelan还具有强大的控制器单元,可实现高效、准确的过程控制。这样可以确保精密地完成蚀刻过程,并且从批次到批次都是一致的。控制器单元还可以方便地监控过程,如温度、压力、电压和电流,这有助于确保设备运行中的质量控制。总体而言,2300 Exelan是一款先进的高质量蚀刻和灰化设备,旨在提供精确可靠的结果。其先进的功能允许精确和精确的蚀刻,同时也允许高度的安全和质量控制。这使得LAM RESEARCH 2300 Exelan成为蚀刻和灰化半导体元件的理想工具。
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