二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9205123 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan是一款蚀刻和asher组合工具，是一款多室设备，具有专为工艺改进和可重复性而打造的集成三室设计。该系统设备齐全,能够处理各种蚀刻和灰化要求,提供出色的精密蚀刻和灰化,并在多个周期中提供可重复的结果。2300 Exelan通过其先进、独立的腔室控制和集成冷却单元提供了卓越的控制和过程能力,以及大型过程窗口。此外,它的集成手套箱有助于保持高价值关键指令的处理清洁度。这些控件确保每次都能实现完美的蚀刻和灰化。LAM RESEARCH 2300 Exelan还利用多阶段工艺配方,以实现最高级别的蚀刻可重复性和可用性,确保最有效的蚀刻结果。这种组合工具还提供了自动管开关、配置的基板加载和集成载波加载，从而实现了更高的吞吐量和更高的生产率。2300 Exelan配备了先进的安全环保系统，保持完美的洁净室操作以及用户安全。所有过程气体、废气和有害物质都自动通过机器的综合洗涤和过滤系统。该工具还配备了多种工作流配置,提供了适应各种流程的灵活性。总体而言,LAM RESEARCH 2300 Exelan是一款出色的蚀刻和灰化工具,它提供卓越的功能以及卓越的准确性和可重复性。凭借其集成的安全系统、全面的控制功能和多种工作流程配置,此工具非常适合广泛的应用,非常适合所有类型的蚀刻和灰化过程。