二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9242073 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan是一种为多种材料提供精密气体蚀刻的蚀刻器或asher。这种多功能设备结合了多种工艺室选项和各种工具，使蚀刻工艺更加可靠和高效。其用途从临界外层稀释接触通风孔、凹槽和互连的金属化到硬质材料（如硅和GaAs以及SiC和SiGe）的深层图样化。2300 Exelan具有先进的源代码设计,以确保快速的过程稳定性和原始的和Chen的结果。该气体蚀刻器支持旋转和径向快速射频等离子体蚀刻，导致等离子体均匀性优越，蚀刻速率高，产生形态优越。与其他蚀刻系统相比,其Arch-Jet线源具有更好的蚀刻效果。内部线宽控制设备还提供了更精确可靠的蚀刻工艺。LAM RESEARCH 2300 Exelan采用简单、用户友好的界面设计,允许快速设置和过程优化。此外，系统可以在相同负载下处理批处理和单晶片过程。该单元还包括保护和先进的安全功能，以确保机器操作的最高水平的安全和效率。2300 Exelan是一款极具效率、成本效益和可靠的蚀刻器或asher。它提供卓越的蚀刻质量和精度,允许卓越的过程控制和产品质量.这种蚀刻工具也非常易于使用,可以为许多不同的应用程序和过程快速高效地蚀刻各种材料。