二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9249854 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan是一种半导体蚀刻器/asher，帮助在半导体晶圆上制造高度精确的小型蚀刻结构。它可以执行半导体器件制造所需的蚀刻、氧化物剥离和其他关键工艺。2300 Exelan提供小型功能的高精度蚀刻,由于其直流电源和先进的光学检查设备,可重复性为+/-3%。它有一个宽的过程窗口，允许多个蚀刻过程依次完成。LAM RESEARCH 2300 Exelan配备了工艺控制包，允许用户识别和控制蚀刻工艺参数。2300 Exelan能够高精度地控制蚀刻速率、选择性、均匀性和临界维度。蚀刻深度在+/-150 nm时非常精确,这使得LAM RESEARCH 2300 Exelan成为制造MEMS设备的绝佳选择。2300 Exelan还具有夹紧系统,能够在蚀刻过程中准确、安全地定位晶片。此外,LAM RESEARCH 2300 Exelan可以同时配置批处理和串联系统,从而实现灵活性和可扩展性。该单元适用于不同尺寸的晶片，从3英寸到6英寸不等。2300 Exelan还具有高温能力，能够达到一些用于制造3D IC的蚀刻材料的熔点。LAM RESEARCH 2300 Exelan非常可靠,其强大的设计确保在恶劣的工作条件下保持一致的性能。它的运行寿命高达30,000晶圆或长达500小时的连续运行时间。该机还非常用户友好，拥有自动化的控制软件和内置的洁净室功能，如温度和压力监测。总体而言,LAM RESERACH 2300 Exelan是制造高精度小型半导体器件的绝佳选择。它的准确性、可重复性和多功能性使其成为MEMS和微电子元件的首要蚀刻器/粉碎器。