二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9298287 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan是一种蚀刻/抽吸系统，利用等离子体或气体蚀刻在半导体晶圆上图样和加工有机材料。该系统用于制造集成电路，特别是用于高级内存应用。它具有多枪源配置，是保形蚀刻的绝佳选择。2300 Exelan设计为八室配置。它使它能够提供非常均匀的蚀刻层，这是高质量的IC所必需的。它还具有更先进的蚀刻能力，能够在亚微米级生成等离子体。这种蚀刻功能对于制造高级内存应用程序至关重要。此外,LAM RESEARCH 2300 Exelan具有更高的吞吐量能力,每小时最多可处理80个晶圆。2300 Exelan配备了先进的低频等离子体（LFP）发电机，使其能够在广泛的深度进行控制蚀刻。它还具有创新的控制过程,如总压力调整和温度控制,有助于确保精确蚀刻。此外，LAM RESEARCH 2300 Exelan采用自动源压力控制系统设计，为用户灵活调节不同基板的源压力。2300 Exelan还包括一组传感器,可完美监控工艺参数,并为用户提供开放的反馈回路来控制蚀刻工艺。作为其高级设计的一部分，LAM RESEARCH 2300 Exelan还包括一个帮助优化每个周期的高度高级算法。这有助于提高蚀刻速率,同时保持成品的均匀性和准确性。总体而言，2300 Exelan是细腻底物保形蚀刻的绝佳选择。其高吞吐量、先进技术和灵活性使其非常适合高级内存应用程序的严格要求。LAM RESEARCH 2300 Exelan具有多枪配置、精确控制和出色的精确度,是您任何蚀刻/抽吸需求的绝佳选择。