二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #293640239 待售
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ID: 293640239
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Etcher, 12"
RF Match
Missing PENDULUM INSTRUMENT Valve
EDWARDS STP-A2203C3
PENDULUM INSTRUMENT 65048-PH52-ADR1 Valve
Manometer:
CM1: E28D-30653 Range 0.1 Torr
CM2: 625A-14059 Range 10 Torr
CM3: 6254-14059 Range 10 Torr
AC Enclosure
Anapaizer board
DC Enclosure power supply
VME Enclosure
CPU VME 7671
Lon control board
VIOP Board step driver
Lonworks IP Server
RF Feed line
ESC Power supply
OES Cable
(3) Noad boards
Helium MFC
Photon controller
Capacitor control board
Interlock board
SCU-1600 TMP Controller
2 MHz, 5000 W Generator
27 MHz, 3000 W Generator
60 MHz, 2500 W Generator
EFEM:
BROOKS AUTOMATION ATM Robot (151864CUR)
Aligner
Buffer
Cool station
Missing pump
Terminal server
OHT Sensor node board
AGV Node board
Ethernet server
UI Panel
AC Rack:
BROOKS AUTOMATION ATM Robot controller (175789R)
UPS Power supply
Hard Disk Drive (HDD) Missing
PC
Monitor
Circuit breaker
Load port:
BROOKS AUTOMATION V2 (002-7200-29, 32)
LP1
LP2
LP3
VTM:
L-VAT Door: AL1, AL2 (07512-UA24-ADI2)
Angle valve: AL1, AL2, TM (MKS)
Pressure gauge: AL1, AL2, TM
Rocker valve: AL1, AL2, PM2, PM3, PM4
Magnatran7 VTM ROBOT
Solenoid valve
VTM Motherboard
Node board
Super slot board
GIB Gas box:
V2 (IGS Type)
Damper
No FIB
Gas line:
PM2: 571-033051-12535B1, Gas Line: 12
PM3: 571-033051-12535C1, Gas Line: 12
PM4: 571-033051-12535D1, Gas Line: 12
Missing parts:
Hard Disk Drive (HDD)
EFEM Pump
2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一款由业内顶级半导体制造商之一制造的先进一代蚀刻器/asher。2300 Flex 45的设计目的是为晶片提供精密可靠的硅树脂、的、砷化的和其他材料的蚀刻。LAM RESEARCH产品线的这一部分专为高质量结果和高生产率至关重要的应用而设计。LAM RESEARCH 2300 Flex 45每个腔室最多可容纳45个晶圆的大容量，并且高度可配置单独的吊舱，用于蚀刻和灰化应用。蚀刻过程由强大的控制单元控制,该单元提供了其他系统无法获得的精度和可重复性级别。为了进行精确控制,2300 Flex 45采用了获得专利的视觉设备,该设备扫描晶圆中的图样以提供精确的蚀刻结果。LAM RESEARCH 2300 Flex 45的沉积室能够控制速度、底物温度和压力，从而产生具有卓越均匀性和屈服性的涂层。该系统以其稳健的设计而闻名，它不仅允许高产蚀刻，而且允许快速的过程周转时间和每个过程之间的最小停机时间。该单元的设计还允许使用高温材料，以及低温材料。此外，该机采用优化的腔室设计，确保气体分布均匀，降低工艺温度梯度。2300 Flex 45机器还可以配置可选的冷冻蚀刻单元，在蚀刻过程中增加低温元素。LAM RESEARCH 2300 Flex 45是半导体行业中的顶级蚀刻器/asher,对于需要极其坚固可靠的工具的应用来说,它是理想的选择。2300 Flex 45具有广泛的强大功能,可创建均匀、可重复和高产的涂层,同时保持高工艺速率和工作温度。对于任何需要高度精确蚀刻和灰化的半导体应用，LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一个极好的选择。
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