二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9244839 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex 45
ID: 9244839
晶圆大小: 12"
优质的: 2009
Etcher, 12" 2009 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex 45是用于各种材料加工的工具。它是一个蚀刻器或一个asher,使用反应性离子蚀刻(RIE)去除了一层薄薄的材料顶层。这种技术在真空接近环境的环境中工作,能够快速、精确地蚀刻和清洁表面。2300 Flex 45设计用于在单个工艺中提供高达45%的蚀刻率。它还包括内置真空泵等功能,以促进高效蚀刻。LAM RESEARCH 2300 Flex 45与其他蚀刻工具并行工作,包括深反应性离子蚀刻(DRIE)和感应耦合等离子体(ICPs)。它利用原地RIE (RIE-DRIE-ICP)功能来测量和预测给定过程的参数。这有助于提高蚀刻一致性和批处理到批处理的一致性。它还允许工程师即时进行调整,从而有助于缩短整个过程的时间。2300 Flex 45还包括一个高精度的电动XYZ级,能够精确维修任何角度。这样可以对基板进行高度精确的蚀刻,精确深度可达100 µm。它还具有内置的温度控制器,允许工程师控制过程参数,如蚀刻时间和压力。此外,该工具还配备了安全外壳和接地保护电压单元。这有助于防止操作员在操作过程中静电放电(ESD)。LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一种多功能工具,旨在帮助工程师蚀刻各种材料。它能够加工多种基材,包括玻璃、石英、金属、聚合物和复合材料。它还提供了一系列处理参数的出色均匀性,包括蚀刻速率、端点选择和选择性。归根结底,2300 Flex 45是各种材料蚀刻和清洗的重要工具。
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