二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9244869 待售
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LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一款为大批量生产而设计的蚀刻/asher设备。它具有先进的蚀刻和灰化功能,具有较低的热预算要求。该系统采用获得专利的动态蚀刻/灰分工艺,可提供最大的灵活性。是高精度、高通量晶圆加工的完美解决方桉。2300 Flex 45能够处理长达12英寸的圆形晶片,并且可以处理高达20微米的模具尺寸。它提供了三个蚀刻选项,允许用户选择其特定应用程序所需的进程参数。第一种选择是低温蚀刻，它使用等离子体产生较软的蚀刻，减少微电荷，从而对薄模具造成损坏。第二种选择是高温蚀刻，它利用较高的温度和热能创造出更具攻击性的深层蚀刻。第三个选项是溷合蚀刻/灰分工艺,它将这两个工艺结合在一起以获得更精确的结果。LAM RESEARCH 2300 Flex 45拥有许多其他高级功能,使其成为蚀刻和灰化应用程序的理想选择。它内置的化学溷合单元让用户能够改变工艺化学来优化蚀刻/灰分结果。它还具有可以测量温度、压力和时间的多模式高温计。此外，热力计还可用于显示晶圆数据的图形图，以便实时监测蚀刻和灰化过程。该机具有几个安全特性，例如内置的紧急关闭开关和压力监测工具，以帮助防止事故发生。它采用模块化结构，便于维护和升级。还可以对资产进行编程以满足特定的生产需求。2300 Flex 45是一款可靠、高性能的蚀刻器/asher,可满足大批量生产的需求。该型号先进的蚀刻/灰分功能、较低的热预算要求和灵活的工艺参数,使其成为蚀刻和灰分应用的绝佳选择。
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