二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9244870 待售

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刻蚀机、去胶机
製造商
LAM RESEARCH
模型
2300 Flex 45
ID: 9244870
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
Etcher, 12" (3) BROOKS AUTOMATION Load ports BROOKS AUTOMATION Reliance Loader arm EDWARDS EPX180NE Dry pump BROOKS AUTOMATION Mag 7 Transfer arm (3) Chambers (3) IH1000 Pumps (3) ADVANCED ENERGY DOFBC2-084 RF Generators (3) Gas boxes Computer 2008 vintage.
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LAM RESEARCH 2300 Flex 45 蚀刻器/asher是一种高度通用的先进蚀刻和灰烬设备。该系统旨在高效、快速地蚀刻和粉刷各种基材和材料。凭借其灵活性，2300 Flex 45非常适合各种材料和基材的蚀刻、ashing、剥离和灰后清洗。此单元非常适合各种应用,包括蚀刻处理、光掩码蚀刻和背面处理。LAM RESEARCH 2300 Flex 45专为可重复、一致、高度精确的蚀刻和灰分处理而设计。它利用先进和稳健的过程控制提供了一个统一的结果，每一个蚀刻和灰运行。腔室还配备了先进的冷却技术，有助于降低基板温度，同时保持最佳蚀刻参数。2300 Flex 45旨在确保即使采用高密度蚀刻化学也能在整个基板上实现高均匀性。LAM RESEARCH 2300 Flex 45有一个带有高清工艺视图窗口的大型工艺室。这使得用户可以方便地实时监控和控制整个蚀刻过程。机器还可以配置一个可选的自动平移工具，使相机能够根据需要在腔室周围移动。可选的多龙门加载程序允许同时加载和卸载多达8个晶圆,从而进一步提高了流程吞吐量。2300 Flex 45极具配置性，可采用功率、蚀刻时间、灰时间、抗浓度、蚀刻角度、背面照明等多种工艺参数进行微调。还可以添加防污染屏蔽、高级工艺监控系统、可选激光联锁系统等附加功能。这些功能协同工作以确保最佳的流程执行和性能。此蚀刻器/asher资产是按照严格的标准构建的,并且高度可靠。它还旨在最大限度地减少工艺室的维护和停机时间，从而保证最大的模型正常运行时间。LAM RESEARCH 2300 Flex 45由LAM RESEARCH支持,LAM RESEARCH是蚀刻系统行业领先的产品之一。
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