二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9255633 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一种等离子体蚀刻器/asher设备，用于各种蚀刻和沉积过程。它旨在在中型腔室中提供高效和高性能的蚀刻和沉积工艺，从而提高生产率。该系统包括一个直径45厘米的腔室和一个LAM Evergreen® Long Life Batch蚀刻高功率射频发电机,以提供所需的工艺性能。工艺压力范围为15 mTorr至550 mTorr，最高温度可达300 °C。该装置能够提供多种蚀刻工艺，从防反射涂层（ARC）到湿洗工艺，并带有可选的PFG（等离子氟发生器）。此外，该机还配备了一套高级自动化功能和高级真空级诊断。逻辑控制、用户友好的软件允许用户创建过程配方、设置和监视蚀刻过程以及分析结果。该工具还提供安全方面的高行业标准，具有自动化的安全程序和内置的安全继电器。先进的信号照明设备会向操作员发出故障警报,并显示警报标志以说明潜在的安全问题。该模型适用于要求更高的蚀刻工艺，如合金蚀刻、高温工艺和金属蚀刻。2300 Flex 45非常适合半导体和MEMS制造商在更经济的中型设备中寻找先进的蚀刻/沉积工艺。