二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9255641 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex 45是专门为等离子体蚀刻和等离子体灰化过程而设计的蚀刻器/灰化器。它是FLEX系列蚀刻器/灰烬的一部分，其特点是在执行复杂的高温过程时具有出色的等离子体均匀性和较高的工艺精度。此多步蚀刻器/asher提供高容量并行蚀刻和灰化功能,可提供最大吞吐量。2300 Flex 45采用了专有的EDGE等离子体技术,使设备能够提供卓越的阶梯蚀刻和灰化性能。这样可以提供出色的特征定义和可重复性。LAM RESEARCH 2300 Flex 45具有15英寸直径的加工室，设计用于批处理模式或单片加工。它具有高压操作能力，最多可配置五个过程步骤。它可以处理高达2000瓦的热预算和高达70 mTorr的压力预算,从而实现复杂的处理。2300 Flex 45还采用了LAM RESEARCH最先进的过程自动化技术,提供了灵活性和准确的过程控制。其精密的dOsC控制器可在所有步骤中保持较高的过程重复性和完整的晶圆覆盖范围。为确保高工艺质量,蚀刻器/asher具有倾斜晶片卡盘和灵活的晶片保持机构,在蚀刻和研磨过程中保持晶片的安全。此外，该系统还包括多个安全功能，包括多个安全联锁和传感器，用于监控单元参数过电压、温度、压力以及许多其他参数。这使机器在可靠性、耐用性和整体性能方面具有优势。总体而言,LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一款先进的蚀刻器/asher工具,能够以更高的效率和精度执行各种过程,同时提供出色的过程经济性和安全性。是大容量等离子体处理应用的绝佳选择。