二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9258555 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex 45是下一代蚀刻器/asher,它结合了专业级蚀刻器和精密蚀刻器的功能。它采用超大型等离子体腔室设计，集成了狭缝聚焦和顶部发射器技术，能够提供卓越、高性能的蚀刻。2300 Flex 45具有先进而强大的50kW RF源,用于可靠且一致的蚀刻,确保最大限度的生产效率和过程控制。等离子体室具有高达180升的大容量，非常适合更大的蚀刻作业。智能狭缝步检测和以连续模式连接单个蚀刻运行的功能意味着用户可以管理他们的蚀刻作业并确保最佳和最经济高效的结果。预先配置的晶片间距算法可确保对每个晶片应用正确的蚀刻间距。该设备还具有离子-能量区分设置，允许用户精确控制基于离子的杂质去除。这样可以确保更清洁的蚀刻具有较长的周期寿命。自动化的过程控制系统允许用户轻松配置过程参数以确保最佳蚀刻结果。该单元包括基板存储器以存储多达10个配方并立即检索它们。LAM RESEARCH 2300 Flex 45还有一个全自动温度控制机，确保蚀刻机在最佳条件下运行。此外,快速清洁循环功能提供快速清洁循环,自动冲洗工具确保蚀刻器内部在蚀刻循环之间得到彻底清洁。2300 Flex 45是一款功能强大且可靠的蚀刻器/asher,易于使用,并提供卓越的蚀刻效果。凭借其尖端的特点和先进的技术，非常适合工商业蚀刻应用。它提供最大程度的控制和稳定性,确保改进蚀刻效果和延长蚀刻寿命。